300 mm Argon-annealed Wafer von WACKER SILTRONIC jetzt im Serieneinsatz

Die 300 mm Argon-annealed Wafer von WACKER SILTRONIC wurden jetzt von einem der führenden Kunden des Unternehmens für die Verwendung in der Serienfertigung qualifiziert. WACKER SILTRONIC gelang damit als weltweit erstem Siliciumhersteller die Qualifikation von Annealed Wafer für eine 300 mm Fertigungslinie in industriellem Maßstab. Dieser bedeutende Schritt wurde durch die enge Zusammenarbeit der Forschungsteams von WACKER SILTRONIC an den Standorten Burghausen (Deutschland) und Hikari (Japan) sowie der Verfahrenstechnik in der Produktion ermöglicht.

WACKER SILTRONIC geht davon aus, dass das Unternehmen mit diesem Erfolg wichtige Erkenntnisse hinsichtlich der Leistungsfähigkeit von 300 mm Annealed Wafer gewinnt und sein Know-how in diesem Segment ausbauen kann. Die jetzt erteilte Qualifikation ist für WACKER SILTRONIC ein weiterer Meilenstein zur Erweiterung seines Annealed Wafer Produktspektrums und zur Festigung seiner Marktposition in diesem Segment.

Argon-annealed Wafer werden in High-tech-Anwendungen mit extrem hohen Qualitätsanforderungen an die Oberflächenbeschaffenheit verwendet. Diese hochentwickelten Wafer werden durch das Annealen maßgefertigter Substrate hergestellt. Im Vergleich zu Wafern, die mit alternativen Anneal-Methoden produziert werden, weisen sie eine tiefere defektfreie Schicht auf. Zudem zeichnen sie sich durch ihr optimiertes, tiefenabhängiges Präzipitationsverhalten aus.

WACKER SILTRONIC ist ein Teil der Wacker-Chemie GmbH in München und gehört zu den führenden Herstellern von Reinstsilicium für die Halbleiterindustrie. Das Produktspektrum umfasst hochreine Chlorsilane, polykristallines Reinstsilicium, tiegel- (CZ) und zonengezogene (FZ) Einkristalle sowie Siliciumwafer mit Durchmessern von 76 mm bis 300 mm. Die Oberflächenbeschaffenheit der Wafer reicht von nichtpoliert, poliert bis zu thermisch behandelt oder epitaktisch beschichtet. Mit Produktionsstandorten in Europa, USA, Japan, Singapur und Malaysia ist der Konzern in den weltweit wichtigsten Halbleitermärkten fest verankert. Ende 2001 beschäftigte WACKER SILTRONIC weltweit 7.140 Mitarbeiter und erwirtschaftete einen Umsatz von 1.069 Millionen Euro. Damit ist WACKER einer der weltweit führenden Siliciumproduzenten.

Unternehmenskurzprofil:

WACKER ist ein global tätiges Unternehmen mit rund 17 000 Mitarbeitern und einem Jahresumsatz von 2,8 Mrd. EUR.

Geschäftsbereiche und Produktprogramme:

WACKER SILTRONIC
Reinstsilicium für Halbleiter-Bauelemente

WACKER SILICONES
Siliconöle, -kautschuk und -harze, Silane, Pyrogene Kieselsäuren

WACKER SPECIALTIES
Redispersionspulver und Baudispersionen, Festharze, Polyvinylbutyrale, Industriesalz und Acetyls, Feinchemikalien und biotechnologisch hergestellte Produkte

WACKER CERAMICS
Hochleistungskeramik, Borverbindungen, Funktionale Schichten, Microporöse Dämmstoffe

WACKER verfügt über weltweit 24 Produktionsstätten sowie über ein globales Vertriebsnetz mit mehr als 100 Tochterunternehmen und Repräsentanzen.